Durch Qualifizierungsmessungen wird die fortlaufende Übereinstimmung mit der DIN EN ISO 14644-1 bzw. VDI 2083 Blatt 1 nachgewiesen.
Für Reinräume und reine Bereiche der ISO-Klassen 1 bis 5 beträgt der maximal zulässige Zeitraum zwischen den Prüfungen 6 Monate.
Für Reinräume und reine Bereiche der ISO-Klassen größer als 5 beträgt der maximal zulässige Zeitraum zwischen den Prüfungen 12 Monate.
Die festgelegten Partikelreinheitsklassen der Luft in bestehenden Reinräumen werden durch Messung der Partikelkonzentration im Betriebszustand "Leerlauf" und / oder "Fertigung" nachgewiesen.